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    產品優勢
    一體成型設計
    一體成型設計
    整機一體成型設計
    自主研發
    自主研發
    自主研發FTR機械手,適配多類型300mm FOUP
    搭載雙口開盒器
    搭載雙口開盒器
    后端搭載雙口開盒器(FIMS),實現Front N2 purge
    可選配
    可選配
    可選配Shelf N2 purge
    產品參數
    負載
    ≤10kg
    重復位置精度
    ±0.1mm
    工位數
    18
    振動
    ≤0.45g
    下載信息驗證

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