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EFEM 設備前端模塊
EFEM是半導體工藝設備的標準組件,是物料搬運系統和各類制程設備高效銜接的重要橋梁。新松EFEM擁有完全自主知識產權,集成公司自主研發的晶圓裝載系統、大氣機械手及晶圓對準裝置,可為客戶提供種類豐富的定制化EFEM產品。新松EFEM采用成熟的標準化、模塊化組件設計,產品質量穩定可靠,不斷縮短交貨周期,廣泛應用于多個知名半導體制造工廠。
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晶圓傳輸機器人
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EFEM 設備前端模塊
產品優勢
全自研解決方案
大氣手、Aligner、SMIF,Loadport等核心部件均自主研發
尺寸多樣性
有包括TSS系列的產品,有1-4工位多種產品
符合SEMI標準
已通過SEMI S2 F47 認證
兼容性強
可根據用戶的實際需求進行非標定制
產品參數
晶圓尺寸
3 " 4 " 6 " 8 " 12 "
Loadport數量
1 / 2 / 3 / 4
機械手重復精度
≤ ±0.1mm
晶圓傳輸量WPH
≥200
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